第69章 山巍[01] 13.5nm工艺制程。(6 / 7)

紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

    最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。

    视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

    视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

    激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。

    接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

    但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。

    一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……

    所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多?次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。

    键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

    助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

    杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我?不知道。”

    助手姑娘又?没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！

    盛明安：“各组报告结果。”

    来?了！

    众人振奋！

    一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”

    二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

    三组报告：“传感器反馈激光和液滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”

    四组报告……

    随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

    众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

    盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光
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